真空鍍膜的發(fā)展趨勢
真空系統的種類(lèi)繁多。在實(shí)際工作中,必須根據自己的工作重點(diǎn)進(jìn)行選擇。典型的真空系統包括:獲得真空的設備(真空泵),待抽空的容器(真空室),測量真空的器具(真空計)以及必要的管道,閥門(mén)和其它附屬設備。
科技發(fā)展愈來(lái)愈快,信息高速公路,數字地球等新概念的提出,影響和帶動(dòng)了全球的發(fā)展,目前,生命科學(xué),環(huán)??萍?,材料科學(xué)和納米科技使重點(diǎn)研究的;納米科技中又以納米電子學(xué)為優(yōu)先研究。
目前計算機和信息的基礎使大規模繼承電路;但下個(gè)世紀的基本元件將是納米電子集成電路。它是微電子器件的下一代,有自己的理論,和材料?,F有微電子器件的主要材料是極純的硅,鍺等晶體半導體。納米電子器件有可能是以有機或無(wú)機復合晶體薄膜為主要原理,要求純度更高,結構更完善。真空制備的清潔環(huán)境,有希望加工組裝出納米電子器件所要求的結構。
總之,表面和薄膜科學(xué),微電子器件及納米等迅速發(fā)展,將使一起和檢測方法體系研究成為真空鍍膜中的發(fā)展重點(diǎn);而電子束蒸發(fā)源將是真空鍍膜中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。