概述
XDS100B 是滾軸增壓泵,具備針對高抽速用途的泵送機械裝置。與增壓泵一樣,它需要與主泵一同使用,適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時(shí),XDS100B 針對大抽速進(jìn)行了優(yōu)化,因此適合吞吐量的 LCMS 應用。的泵設計使得末端密封磨損消失,也就減少了維修干預,盡可能延長(cháng)正常運行時(shí)間。
變換器驅動(dòng)允許泵連接到單相電源,控制著(zhù)電機的特性,泵總是以?xún)?yōu)化速度運行,并使用戶(hù)可以對泵進(jìn)行遠程控制。
滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來(lái)產(chǎn)生非接觸式新月形氣泡,并通過(guò)軌道運行不斷對其進(jìn)行壓縮。這意味著(zhù),與油密封旋轉泵不同,在泵移動(dòng)量中不需要密封劑或潤滑劑
特點(diǎn)優(yōu)勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時(shí)間更長(cháng)
無(wú)需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡(jiǎn)單的單側滾軸設計意味著(zhù)維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長(cháng)正常運行時(shí)間
變換器驅動(dòng)可使抽速穩定維持在 50/60Hz
抽速
50 或 60Hz
95 m3h-1/56 ft3min-1
極限真空(總壓力)
<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr
大連續進(jìn)氣口壓力
20 mbar/15 Torr
大連續壓力
60 mbar / 45 Torr
短時(shí)內進(jìn)氣口處的大允許壓力
0.5 bar 表壓/7 psig
要從大氣抽空的大真空腔體積
100 升
用于循環(huán)負載的大真空腔體積 – 大為每小時(shí) 6
50 升
電機功率
0.52 kW
標稱(chēng)轉速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
入口法蘭
NW40
排氣口法蘭
NW40
噪音級別
52.1 dB(A)
振動(dòng)
<4.5mms -1 (rms)
密封性(靜態(tài))
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍
10 至 40 °C/50 至 104 °F