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Edwards：真空泵大化性能
日期：2024-08-19 15:42
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摘要：
克勞利--(BUSINESS WIRE)--(商業(yè)資訊)--Edwards Limited是一家全球的真空設備和尾氣處理系統制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商，該公司近日推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節省更多成本。
Edwards TMP產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示：“STP-iXA4506渦輪泵是改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉子設計和成熟且高度的iXA系列機載控制器，使容許的通過(guò)的氣量大化，從而使高流量過(guò)程所需的渦輪泵數量減至，尤其是在太陽(yáng)能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線(xiàn)纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在應用中快速安裝。此外，就像我們的磁浮式渦輪泵一樣，無(wú)需機械軸承的特性免除了定期維護的成本?！?/span>
這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量（高達4300 sccm N2）結合其抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506適用于許多不同的大流量、高流動(dòng)性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽(yáng)能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個(gè)密封的電子模組，以在嚴苛的工廠(chǎng)環(huán)境中實(shí)現穩健、的操作。需要時(shí)還可增加一套加熱系統，以減少來(lái)自工藝過(guò)程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。
Edwards TMP產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示：“STP-iXA4506渦輪泵是改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉子設計和成熟且高度的iXA系列機載控制器，使容許的通過(guò)的氣量大化，從而使高流量過(guò)程所需的渦輪泵數量減至，尤其是在太陽(yáng)能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線(xiàn)纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在應用中快速安裝。此外，就像我們的磁浮式渦輪泵一樣，無(wú)需機械軸承的特性免除了定期維護的成本?！?/span>
這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量（高達4300 sccm N2）結合其抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506適用于許多不同的大流量、高流動(dòng)性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽(yáng)能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個(gè)密封的電子模組，以在嚴苛的工廠(chǎng)環(huán)境中實(shí)現穩健、的操作。需要時(shí)還可增加一套加熱系統，以減少來(lái)自工藝過(guò)程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。
