普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum)發(fā)布新款節能型干泵 A 100 L ES

• 節能50%以上
• 結構緊湊、高抽速
• 清潔制成的理想選擇

A 100 L 緊湊型干泵是專(zhuān)為半導體生產(chǎn)設備靈活集成的要求而量身定制的一款 產(chǎn)品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無(wú)腐蝕應用(noncorrosive applications)的清潔制成環(huán)境中的理想選擇。

盡管這款干泵結構緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來(lái)的抽速和高速響 應的停機時(shí)間?，F今，A 100 L干泵已經(jīng)應用于全球的半導體工廠(chǎng)，并且適用于無(wú)塵室工作 事。

在A(yíng) 100 L基礎上的新款A 100 L ES（ES=Energy Saving）系列經(jīng)過(guò)測試能夠節能50%以上，在低壓范圍內其抽速表現依舊 。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

一個(gè)典型的案例：300毫米制成的半導體工廠(chǎng)在加載互鎖真空室（loadlock) 裝備1300臺泵，一年能夠節約10GWh以上的能源，相當于大約36萬(wàn) 歐元，5.1噸的二氧化碳排放。

此外為了節約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10^-4 mbar (hPa)。這了在要求低壓環(huán)境下提高抽氣速度新的潛在應用。同時(shí)泵的 噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無(wú)疑填補了我們在light
duty process中產(chǎn)品節能的要求，就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供的節能產(chǎn)品。