Edwards宣布iXH干泵銷(xiāo)售量突破1000大關(guān)

全球真空和尾氣處理設備和服務(wù)的主要供應商Edwards近日宣布，自2008年2月推出以來(lái)短短一年時(shí)間已經(jīng)向半導體和太陽(yáng)能制造商售出1000套應用于苛刻工藝的iXH干式真空泵。

　“太陽(yáng)能和新半導體制造工藝(如砷化鎵化合物半導體)要求能夠處理大流量氫氣的真空，”Edwards公司的CEO尼格爾-漢頓(Nigel Hunton)說(shuō)，“iXH系列干泵是為解決這些難題而設計的，它更長(cháng)的使用壽命和更低的動(dòng)力消耗從而減少了運行成本。iXH真空泵在業(yè)界的迅速推廣證明了它能成功應對這些挑戰?！?/span>

　　氫氣是一種難以抽取的氣體，因為它分子量小，粘度低。iXH真空泵系統采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達到佳的壓縮比，從而實(shí)現高效率地抽取氫氣。該系統為模塊化設計，可靈活配置，因此易于滿(mǎn)足太陽(yáng)能和半導體制造工藝中的現場(chǎng)安裝和性能要求。部件可以上下堆疊，從而達到業(yè)內的占地面積。型號的 iXH真空泵可針對具體應用要求靈活配置，并且由單個(gè)控制器進(jìn)行管理，對操作人員而言這是一種簡(jiǎn)單易用、可無(wú)縫集成的真空系統。

　　與Edwards上一代真空泵相比，用于苛刻工藝的iXH干式真空泵系列具有更大的處理能力和較低的運行成本(CoO)。運行成本的下降是通過(guò)能耗下降10%、維修間隔延長(cháng)以及意外停機時(shí)間減少而實(shí)現的。產(chǎn)品操作溫度范圍廣(有助于降低副產(chǎn)物的沉積)，粉末處理能力增強，并采用的氣體分配以及一種延長(cháng)工藝壽命并減少泄漏危險的的真空泵密封。