無(wú)油渦旋真空泵
一、引言
渦旋的概念相當久遠，20世紀初上就已經(jīng)有了渦旋的。但由于當時(shí)水平的限制，渦旋機構制造不出來(lái)，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出臺模型機構，使這項實(shí)際應用成為可能。渦旋機構的可性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)者青睞，迅速被投入工業(yè)化應用。Trance、Hitachi、Copland等公司的渦旋壓縮機與產(chǎn)品**了渦旋實(shí)用化的浪潮，帶動(dòng)了如冰箱、空調等諸多行業(yè)的進(jìn)步和產(chǎn)品的更新。
今天渦旋已經(jīng)由初期的應用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現了全無(wú)油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得的實(shí)用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環(huán)境沒(méi)有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均普通油泵的單級、雙級無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品。
上個(gè)世紀90年代初，上首臺渦旋真空泵推向市場(chǎng)，渦旋由此開(kāi)始作為一種真空獲得在范圍內被推廣應用。到目前為止，上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠(chǎng)家集中在、和歐洲，以的Anestta、的Varian、的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段。
二、無(wú)油渦旋真空泵的特點(diǎn)與應用
清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng )造真空環(huán)境開(kāi)始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現有的無(wú)油真空泵當中,無(wú)油渦旋真空泵與其他種類(lèi)的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn):
①.無(wú)油，無(wú)摩擦——真空腔內無(wú)油，非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
②.抽氣量大——雙渦旋盤(pán)，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源；
③.抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；
④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動(dòng)??；
⑤.結構簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運動(dòng)半徑小，運行平穩；
⑥.體積小，維修方便，維護費用低；
⑦.采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。
目前無(wú)油渦旋真空泵的應用為:
①.半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；
②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線(xiàn)、電子顯微鏡、分析測試儀器；
③.機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；
④.化學(xué)工業(yè)；
⑤．醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；
⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。
為解決我國科學(xué)研究和新材料、半導體等行業(yè)發(fā)展面臨的手段存在的基礎、共性問(wèn)題，近年來(lái)已經(jīng)不斷有業(yè)內專(zhuān)家向介紹渦旋無(wú)油真空泵及其發(fā)展現狀，渦旋無(wú)油真空泵生產(chǎn)廠(chǎng)家與代理對市場(chǎng)的使其在市場(chǎng)的銷(xiāo)量在逐年增長(cháng)。真空行業(yè)相關(guān)企業(yè)也開(kāi)展了基礎、應用研究及小規模試制無(wú)油渦旋真空泵生產(chǎn)等不同階段的探索，只是由于基礎、激勵機制、手段、資金投入的限制，工作進(jìn)展不是快。產(chǎn)量、穩定可性、以及推廣與市場(chǎng)開(kāi)拓規劃、原則、手段等也是問(wèn)題。因此無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品下一步產(chǎn)業(yè)化與市場(chǎng)是企業(yè)必須解決的兩大問(wèn)題。隨著(zhù)手段、資金投入、市場(chǎng)開(kāi)拓問(wèn)題的解決，無(wú)油渦旋真空泵將會(huì )打開(kāi)市場(chǎng)，從而提高整個(gè)真空獲得行業(yè)的水平。成功的無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品與市場(chǎng)模式也將為我國其他清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供的借鑒。
