無(wú)油干式機械真空泵概述

無(wú)油干式機械真空泵 ( 以下簡(jiǎn)稱(chēng)干式機械泵 ) 是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式機械真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 

      目前，真空行業(yè)使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著(zhù)科學(xué)的發(fā)展以及真空應用的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽無(wú)油干式機械真空泵概述

氣系統出現了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應物質(zhì)使真空泵內的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。 

       對于普通的無(wú)油真空系統來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能徹底解決問(wèn)題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。 

干式機械真空泵的應用是的，主要有以下幾個(gè)方面：

 1) 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

 2) 半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

 3) 除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求；

 4) 在化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

 5) 用做一般無(wú)油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。