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羅茨真空泵的及其工作原理

日期:2024-08-19 16:02
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摘要:
羅茨真空泵(簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵)是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來(lái)的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱(chēng)機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。
  羅茨真空泵的大
  在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率,但它不能單獨使用,必須有一臺前級真空泵串聯(lián)。待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí),羅茨真空泵才能開(kāi)始工作。并且在一般情況下,羅茨真空泵不允許高壓差時(shí)工作,否則將會(huì )過(guò)載和過(guò)熱而損壞,因此使用羅茨真空泵時(shí)必須合理地選用前級真空泵,安裝必要的保護設備。
  羅茨泵的工作原理
  羅茨真空泵泵腔內,有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一家的間隙,可以實(shí)現高轉速運行。由于羅茨泵串聯(lián)使用。
  羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內,再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。
  但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣,VO空間與排氣側相通時(shí),由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間VO中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。
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