半導體工業(yè)真空泵油的處理與再造利用
半導體工業(yè)在硅片加工過(guò)程中，必須使用真空泵。真空泵油通常有兩種： 碳氫化合物油(Hydrocarbon)與全氟聚醚油(PFPE)。碳氫化合物油極易燃燒，化學(xué)結構不穩定，容易降解，使得潤滑性能容易降低，從而導致真空泵出現故障。尤其因頻繁地更換真空泵油，包括停機維修時(shí)間的增加，而影響生產(chǎn)效率。而且，碳氫化合物油的可燃性也導致隱患，頻繁更換真空泵油，存在大量的廢棄物，對于環(huán)保方面是不利的?？傊?，許多方面均會(huì )導致運行成本的上升。
全氟聚醚油( PFPE ) 分子鏈飽和，不含氫元素，化學(xué)性能穩定，抗強氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強酸、強堿等化學(xué)物質(zhì)，高溫性能穩定，并具有極低的蒸發(fā)速率和良好的潤滑性能。不僅， 且使用。半導體工業(yè)在芯片加工過(guò)程中必須使用一些的氣體與某些具有毒性的強氧化劑，因而要求在工藝加工過(guò)程中使用的真空泵具有的適應性，PFPE 因其性能而得到使用。尤其在消除火災或爆炸的危險隱患等方面更是性能。的真空泵制造商， 如萊寶(LeyBold), 愛(ài)德華(Edwards)均使用PFPE 油作為其真空泵的介質(zhì)，以其真空設備在環(huán)境中繼續保持優(yōu)良的性能。
因此，PFPE 是半導體工業(yè)真空泵油的佳選擇，能夠滿(mǎn)足半導體工業(yè)中性、性以及環(huán)保等要求。
PFPE 油— KRYTOX b
杜邦公司KRYTOXb 系列產(chǎn)品初的是起源于航天計劃，比如阿波羅登月計劃的導航系統用的潤滑劑，并首獲成功。隨后應全半導體工業(yè)的需求，杜邦公司KRYTOXbVPF 系列產(chǎn)品得到主要真空泵制造商如L e y B o l d ,Edwards，Ebara 等的，均符合或過(guò)主要泵制造商有關(guān)擔保的要求。
杜邦KRYTOX b 具體性能如下：
◆ 化學(xué)穩定性：KRYTOXbVPF 化學(xué)性能穩定，耐強酸,包括極強的路易氏酸，耐強堿。性能穩定， 與接觸的任何特種氣體如氟氣，SiH4 等，強腐蝕性物質(zhì)，強氧化劑，還原劑等均不發(fā)生反應；
◆ 不燃燒性：KRYTOX b 分子結構中不含氫元素，耐氧化，不會(huì )燃燒， 無(wú)閃點(diǎn)，無(wú)燃點(diǎn)，可避免任何火災的隱患，達到半導體行業(yè)性的要求；
◆ 熱穩定性：極低的蒸發(fā)率和降解率，能夠避免任何殘留物的形成而影響半導體工業(yè)中反應室的純凈度及高真空度的維持；
◆ 的潤滑性能：尤其在比較寬的操作溫度范圍，在高負載，高壓強的情況下，KRYTOXb均具有良好的潤滑性能，能夠減少磨耗，尤其對于真空泵及壓縮機等設備維持優(yōu)良的運行性能等等重要；
◆ 粘度和蒸氣指標穩定: 能夠保持極低的回流率，從而能夠持續地系統的高真空度。
綜上所述，杜邦全氟聚醚產(chǎn)品-KRYTOXb VPF真空泵油能夠滿(mǎn)足半導體工業(yè)的要求，尤其是針對半導體芯片加工過(guò)程中如刻蝕劑和沉淀過(guò)程中所面臨的氣體，強腐蝕性化學(xué)物質(zhì)，均能其操作的與。
杜邦PFPE 的再造利用方案
全對環(huán)境保護的要求越來(lái)越高。如何處理在真空泵的維修和使用過(guò)程中所產(chǎn)生的廢油是擺在公司面前的一大難題。傳統的處理方式是將回收的廢油送至當地廢油處理廠(chǎng)焚燒。但PFPE是無(wú)法燃燒的。也就是說(shuō)，簡(jiǎn)單處理使用過(guò)的PFPE油會(huì )造成的環(huán)境污染。
杜邦公司全氟聚醚廢油再造利用的環(huán)節和生產(chǎn)程序，都是建立在杜邦公司作為原始PFPE真空泵油制造商的技能和經(jīng)驗基礎之上。再造工作均在新澤西州的Deepwater制造工廠(chǎng)完成?；谡婵站W(wǎng)(www.chvacuum.com)多年的經(jīng)驗，杜邦公司PFPE真空泵油的再造生產(chǎn)過(guò)程，包括中和，過(guò)濾，脫氣，精餾，氟化再造以及精制等步驟，其中氟化再造是關(guān)鍵性的步驟，并輔以完善的分析測試手段包括氣相色譜，紅外色譜，原子吸收光譜等方法來(lái)實(shí)時(shí)跟蹤，分析并監控有關(guān)酸度，粘度，蒸氣壓等關(guān)鍵性的指標，以再造生產(chǎn)的PFPE再造油性能指標與新生產(chǎn)的PFPE油，并且在實(shí)際操作過(guò)程中性能等同，工藝工程的化及閉式循環(huán)等的特點(diǎn), 使得再造收率達95～98%。
杜邦公司是一家能夠做到上述高效、高質(zhì)，再造利用PFPE油的制造商。除此以外，上述再造工程中，過(guò)濾，精制等程序所產(chǎn)生的廢棄物均嚴格按照相應的法規來(lái)處理，并嚴格按照相關(guān)的程序，以利于環(huán)境保護。再造利用方案，對于客戶(hù)有如下：
(1)為客戶(hù)收集廢油無(wú)償提供包裝桶;
(2)節省了處置廢油的費用和時(shí)間;
(3)由于油的重新使用，節省了操作運行成本費用;
(4)由于廢油的和合法處置，實(shí)現了環(huán)保目的;
(5)利用的油達到原產(chǎn)品的標準;
(6)杜邦公司將在整個(gè)操作過(guò)程中提供支持。
鑒于此，的真空泵制造商和半導體芯片制造廠(chǎng)均采納此方案。收集用過(guò)的PFPE油，得到當地杜邦公司和其經(jīng)銷(xiāo)商的支持和服務(wù)。利用，實(shí)現環(huán)保，并降低成本。
半導體工業(yè)發(fā)展迅速，環(huán)保要求不斷提高。半導體業(yè)廢油處理的環(huán)保問(wèn)題已引起芯片制造廠(chǎng)及相關(guān)者的高度重視。目前，杜邦公司及其授權的經(jīng)銷(xiāo)商已在成功地建立了此項目的完善服務(wù)體系。一方面，把收集的PFPE 廢油 送至杜邦公司新澤西工廠(chǎng)進(jìn)行再造利用，使相關(guān)企業(yè)同樣得此再造利用方案的六大好處;另一方面，為的環(huán)保事業(yè)作出貢獻。
