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由哪幾部分組成中央真空系統？
日期：2024-08-23 08:14
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摘要：
中央真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。
真空系統的控制系統由的PLC控制系統經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實(shí)現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動(dòng)化控制。
工作流程：?jiǎn)?dòng)系統，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運行，中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿(mǎn)足生產(chǎn)的要求。
真空系統自啟動(dòng)后，運行過(guò)程可以實(shí)現全自動(dòng)控制。在工作中，真空系統內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據用戶(hù)要求進(jìn)行調整。
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