Edwards成為450mm晶圓制造設備聯(lián)盟的創(chuàng )始成員
真空產(chǎn)品和尾氣處理系統制造商及相關(guān)增值服務(wù)全球供應商Edwards 集團有限公司近加入了一個(gè)由全球十家半導體設備公司組成、旨在組建450mm晶圓制造設備聯(lián)盟(F450C)的工作組。這是全球450聯(lián)盟(G450C)的一個(gè)分小組,其建立是為了解決下一代450mm半導體晶圓制造設施的復雜和基礎設施要求。
F450C辦公地點(diǎn)位于紐約州立大學(xué)阿爾巴尼分校的納米科學(xué)和工程學(xué)院(CNSE),其成立是為了必要的關(guān)鍵設備,以確定有競爭力的設備解決方案,從而使450mm晶圓制造得以實(shí)現。Edwards 是聯(lián)盟中一家代表真空和尾氣處理設備的公司,這體現了Edwards公司在半導體行業(yè)以及其他應用中的長(cháng)期經(jīng)驗和地位。
Edwards公司CEO Jim Gentilcore 評論道:“我們對于F450C聯(lián)盟內部的合作機會(huì )感到很高興,Edwards將可以把在真空和尾氣處理的專(zhuān)長(cháng)和應用到產(chǎn)業(yè)的下一個(gè)變革。聯(lián)盟成員之間的協(xié)作將是理解過(guò)渡中的各方面實(shí)際需求的關(guān)鍵,也將終實(shí)現由450mm晶圓制造工藝所帶來(lái)的生產(chǎn)效率提高?!?/span>
G450C 主要為450mm制造設備和工藝提供指導,而F450C的目標則是向450mm晶圓制造過(guò)渡過(guò)程中必不可少的配套設備和基礎設施方案。這些方案可以解決更多出450mm晶圓生產(chǎn)帶來(lái)的制造難題,因為下一代制造工廠(chǎng)帶來(lái)了設施設計、基板處理、工具連接、化學(xué)品分送、水和電氣系統以及許多其它的新挑戰。
2013年6月28日,紐約州州長(cháng)Andrew M. Cuomo宣布,F450C在紐約州立大學(xué)納米科學(xué)和工程學(xué)院(CNSE)的成立帶來(lái)500多萬(wàn)美元的新私人投資,并創(chuàng )造了多達150個(gè)工作崗位。
在SEMICON West 2013展覽會(huì )期間將會(huì )舉辦一個(gè)450mm制造EHS論壇(450mm Manufacturing EHS Forum),屆時(shí)將討論隨著(zhù)制造商轉向450mm晶圓工藝而帶來(lái)的環(huán)境、健康和(EHS)問(wèn)題,以及所產(chǎn)生影響和挑戰。Edwards將在論壇上做題為“綠色模式:集成實(shí)現電力(Utility)節省”的報告。