Edwards展出適用太陽(yáng)能等產(chǎn)業(yè)的真空及尾氣處理系統新品

真空產(chǎn)品和尾氣處理系統及相關(guān)加值服務(wù)的全球供應商Edwards公司 (NASDAQ: EVAC)，在2012年再度參加SEMICOM Taiwan半導體展覽，展示其業(yè)界之真空和尾氣處理系統的新產(chǎn)品系列，展場(chǎng)位于臺北世貿南港展覽館，Edwards公司展位編號為545。

Edwards是干式真空泵浦系統的，其適用于半導體及其他相關(guān)產(chǎn)業(yè)包括LED、平面顯示器、太陽(yáng)能產(chǎn)品等產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)制造沉積制程，處理惡劣與腐蝕性的化學(xué)環(huán)境。

　　Edwards的干式泵浦解決方案和尾氣處理系統的運作不僅環(huán)保，而且十分具有效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以地節能減碳。今年SEMICON Taiwan展場(chǎng)中新發(fā)表的iXL1000，是為電介質(zhì)刻蝕及輕型應用所設計的干式真空泵浦， 相較于成功的同等級iGX/GX系列干式泵浦，它能再降低多達33%的耗電量。同樣的，Edwards的尾氣處理解決方案，也有類(lèi)似的綠色環(huán)保特色，并能降低燃油消耗。

　　Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統正在被應用于臺灣的半導體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)，當中包括臺灣主要的代工產(chǎn)業(yè)，Edwards在臺灣至今已經(jīng)安裝過(guò)22,000臺干式和渦輪分子泵浦，以及3,000組尾氣處理系統。臺灣了外延片代工模式，在充滿(mǎn)挑戰的全球環(huán)境下，臺灣的外延片代工廠(chǎng)持續投資于的，并把組件尺寸縮少到在奈米尺寸制程。Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統，在臺灣能成功將半導體制程跨入深次微米 (deep-submicron) 的過(guò)程中，扮演了重要的關(guān)鍵角色;同時(shí)在日益重要的化合物半導體生產(chǎn)等新興制程中，Edwards也能根據新的應用之需求，提供適合的產(chǎn)品組合。

　　Edwards亞太區總裁 Neil Lavender-Jones指出：“Edwards在臺灣了兩方面的作用。我們業(yè)界的干式泵浦，對現今半導體生產(chǎn)制程中所需的真空環(huán)境而言，是關(guān)鍵的核心。Edwards幫助整個(gè)產(chǎn)業(yè)以低成本獲得、及節能的真空環(huán)境，并在維持高產(chǎn)量和高硅片“一次成功率”中了重要作用。同樣重要的是，我們的尾氣處理系統了在這些制程中產(chǎn)生的高污染物質(zhì)，包含可能加速全球暖化的氣體，將沒(méi)有任何機會(huì )擴散到自然環(huán)境里。對于 Edwards公司來(lái)說(shuō)，環(huán)保是企業(yè)的首要社會(huì )責任，我們始終不變的目標是將環(huán)境的碳足跡減到少?！?/span>

　　2011年，Edwards客戶(hù)在全球各地的設備總共減少排放相當于8,500,000公噸的二氧化碳。Edwards將參與9月6日(星期四)在臺北世貿南港展覽館402A室，由SEMICON Taiwan 2012展會(huì )舉辦的綠色制程趨勢論壇，強調Edwards在環(huán)境管理中扮演的角色和肩負的責任。論壇主題是綠色生產(chǎn)制造的，真空產(chǎn)品業(yè)務(wù)經(jīng)理 Mike Percy和產(chǎn)品經(jīng)理Jerome Boegner將會(huì )發(fā)表演說(shuō)，題目為“真空和尾氣處理系統在能源和設備方面的節省優(yōu)勢” (時(shí)間為下午3:00到3:30)。

　　自1998年Edwards在臺灣設立以來(lái)，公司的規模已成長(cháng)五倍，員工數從42名擴展至目前共有205名。2010年Edwards更加強對臺灣客戶(hù)的承諾，于苗粟縣竹南鎮設置一占地5,000平方米 的服務(wù)銷(xiāo)售中心，為顧客帶來(lái)更貼近的在地服務(wù)，并擴展各項服務(wù)的范圍。隨著(zhù)Edwards在臺灣不斷的提供服務(wù)改進(jìn)和支援，也吸引了眾多的客戶(hù)，在短短兩年內，公司在臺灣的服務(wù)業(yè)務(wù)已經(jīng)出現的成長(cháng)。

　　Edwards在亞洲深耕達四十年，現在與此區域各個(gè)的半導體制造商合作，提供整合式真空和尾氣處理解決方案，包括建置、管理、服務(wù)和支援。