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真空泵類(lèi)型介紹
日期:2024-08-19 12:09
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摘要:
真空泵分類(lèi);
按其工作原理基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類(lèi)型。氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線(xiàn)真空泵7、干式螺桿真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等.
氣體傳輸泵是一種能是氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類(lèi)型:
變容真空泵
利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種:
(1) 往復式真空泵:是利用泵腔內活塞做往復式運動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱(chēng)為活塞式真空泵。
(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔內活塞做旋轉運動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種形式:
① 油封式真空泵:它是利用油類(lèi)密封各運動(dòng)部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置,故又稱(chēng)氣鎮式真空泵。按其結構特點(diǎn)分為如下五種形式。
a旋片式真空泵:轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近,在轉子槽內裝有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)旋片,當轉子旋轉時(shí)旋片能沿其徑向槽往復滑動(dòng)且與泵殼內壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個(gè)可變容積。
b.滑閥式真空泵:在偏心轉子外部裝有一個(gè)滑閥,轉子旋轉帶動(dòng)滑閥沿泵殼內壁滑動(dòng)和滾動(dòng),滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導軌中滑動(dòng),而泵腔分成兩個(gè)可變容積。
c.定片式真空泵:在泵殼內裝有一個(gè)與泵內表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個(gè)始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時(shí),滑片能上下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變容積。
d.余擺線(xiàn)式真空泵:在泵腔內偏心裝有一個(gè)型線(xiàn)為余擺線(xiàn)的轉子,它沿泵腔內壁轉動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變容積。
e.多室旋片式真空泵:在一個(gè)泵殼內并聯(lián)裝有由同一個(gè)電動(dòng)機驅動(dòng)的多個(gè)獨立工作室的旋片真空泵。
②干式螺桿真空泵:它是一種不用油類(lèi)(或液體)密封的變容真空泵。
③液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時(shí),把液體(通常為水或油)拋向泵殼內形成泵殼同心的環(huán)液,環(huán)液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積,故亦稱(chēng)旋轉變容真空泵。
④羅茨真空泵:泵內裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。
動(dòng)量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到。